FP法（ファンダメンタル・パラメーター法）を用いることで、ゼムクリップ程度から、約30mmφまでの大きさの 固体、粉体や液体の組成を、標準物質無しで 半定量することができます。

波長分散型 蛍光Ｘ線分析装置（WDX）は、エネルギー分散型 蛍光Ｘ線分析装置（EDX）よりも 波長分解能が優れており、精度の高い定量分析が行えます。